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布鲁克斯 Brooks 智能低温泵系统
更新时间：2016-05-16 点击次数：1782次
ON-BOARD® IS CRYOPUMP SYSTEMS
新型智能低温泵系统
领导的低温真空技术，On-Board IS低温泵系统利用布鲁克斯的新型低温真空技术，提供的真空性能和抽气效率。
产品优势：
1. 专门为离子植入制程所设计的新一代智能型低温泵系统。
2. 的分布式监控系统及个别调整低温泵功能，以维持系统*的真空效能，提供制程所需的的一致性。
3. 快速再生系统和可同时控制多组低温泵。
4. 节能设计,不需消耗太多能源和冷却水－仍可以提供*的真空性能。
5. 安装容易，使用方便。
6. 加强型GOLDLink软件提供远程监测预防和预测性维护。
7. 只要付出zui少的成本即可拥有zui高正常运行时间，zui高的生产率，zui低的整低温泵系统。
8. Helix服务和支持。
